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电子级大宗气体及其应用

宣布时间：2021-04-08 | 游览：3426

内容摘要：电子级大宗气体是指用于制造半导体生产的大宗气体 ，包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气和二氧化碳 ，那么它们在半导体制造中的主要应用都是什么呢？

电子级大宗气体是指用于制造半导体生产的大宗气体 ，包括氮气、氢气、氩气、氦气、氧气和二氧化碳 ，那么它们在半导体制造中的主要应用都是什么呢？

气体名称
应用
氩气
Ar用于等离子沉积和蚀刻工艺的工厂中 ，还可用于深UV光刻激光器中半导体芯片的最小特征的图案上。液化氩气的液滴还被越来越多的用于洗濯最小 ，最懦弱的芯片结构中的碎屑。
二氧化碳

CO2 可用于支持先进的浸没光刻 ，专用低温洗濯应用以及DI(去离子水)处置惩罚。

氦气

He是第二轻的元素和最冷的液体 ，用于电子制造中的冷却 ，等离子处置惩罚和走漏磨练。

氢气

由于更大的工厂和更高的工艺强度需求 ，H?的使用量正在增添。它用于硅和硅锗的外延沉积和外貌处置惩罚。随着EUV（极紫外线）的转变 ，氢气的需求量将继续增添。

氧气

O?用于在蚀刻中爆发氧化物层。现场可提供杂质少于10ppb的超纯液态氧（LOX）且无需外部净化器。

氮气

N?是现在半导体制造中使用最多的气体。它用于吹扫真空泵 ，排放系统 ，还可以用来做为一种工艺气体。在大型的 ，先进的工厂 ，氮气的消耗量可达每小时5万立方米 ，这使得工厂需要本钱效益好 ，低能耗的现场氮气爆发器。

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